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掃描電鏡的真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱
點擊次數(shù)：1095 更新時間：2023-04-23
掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質(zhì)間的相互作用，來激發(fā)各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。掃描電鏡主要由七大系統(tǒng)組成，即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號探測處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。
掃描電鏡低壓束流極大增強，分辨率提高，寬泛低真空范圍利于觀察更多類型的不導(dǎo)電的樣品，特別是操作系統(tǒng)的自動化速度和準(zhǔn)確性，簡單3步即可完成，不僅提高作業(yè)速度，而且方便初學(xué)者操作。
主要特點：
1、低電壓低真空表現(xiàn)優(yōu)異，可觀察不良導(dǎo)體的表面形貌和細節(jié)信息.
1、自動化功能速度快，自動準(zhǔn)確度高，適合高吞吐量工作和電鏡操作基礎(chǔ)薄弱者操作。
應(yīng)用領(lǐng)域：
1、生物醫(yī)學(xué)
2、食品衛(wèi)生
3、電子半導(dǎo)體
4、汽車制造
5、新能源
真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類，機械泵加油擴散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求，但對于裝置了場致發(fā)射槍或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃描電鏡，則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用于放置樣品。
